光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
11期
1657-1661
,共5页
段国平%陈俊领%韩俊鹤%黄明举
段國平%陳俊領%韓俊鶴%黃明舉
단국평%진준령%한준학%황명거
喇曼光谱%单晶硅%激光晶化%多晶硅%本征非晶硅
喇曼光譜%單晶硅%激光晶化%多晶硅%本徵非晶硅
나만광보%단정규%격광정화%다정규%본정비정규
利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488 nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514 nm波长与488 nm波长对样品的晶化效果进行了比较.测试结果显示:激光照射时间60 s,激光功率密度在1.57×105 W/cm2时,能实现非晶硅向多晶硅的转变,在功率密度达到2.7 56×105 W/cm2时,有非晶开始向单晶转变,随着激光功率密度的继续增加,晶化结果仍为单晶;在功率密度为2.362×105 W/cm2下,60 s照射时间晶化效果较好;在功率密度为2.756×105 W/cm2和照射时间为60 s的条件下,用488 nm波长比514 nm波长的激光晶化本征非晶硅薄膜效果较好,并均为单晶态.
利用等離子增彊化學氣相沉積繫統製備瞭本徵非晶硅薄膜,併選用488 nm波長的連續激光進行晶化.採用喇曼測試技術對本徵非晶硅薄膜在不同激光功率密度和掃描時間下的晶化狀態進行瞭錶徵,併用514 nm波長與488 nm波長對樣品的晶化效果進行瞭比較.測試結果顯示:激光照射時間60 s,激光功率密度在1.57×105 W/cm2時,能實現非晶硅嚮多晶硅的轉變,在功率密度達到2.7 56×105 W/cm2時,有非晶開始嚮單晶轉變,隨著激光功率密度的繼續增加,晶化結果仍為單晶;在功率密度為2.362×105 W/cm2下,60 s照射時間晶化效果較好;在功率密度為2.756×105 W/cm2和照射時間為60 s的條件下,用488 nm波長比514 nm波長的激光晶化本徵非晶硅薄膜效果較好,併均為單晶態.
이용등리자증강화학기상침적계통제비료본정비정규박막,병선용488 nm파장적련속격광진행정화.채용나만측시기술대본정비정규박막재불동격광공솔밀도화소묘시간하적정화상태진행료표정,병용514 nm파장여488 nm파장대양품적정화효과진행료비교.측시결과현시:격광조사시간60 s,격광공솔밀도재1.57×105 W/cm2시,능실현비정규향다정규적전변,재공솔밀도체도2.7 56×105 W/cm2시,유비정개시향단정전변,수착격광공솔밀도적계속증가,정화결과잉위단정;재공솔밀도위2.362×105 W/cm2하,60 s조사시간정화효과교호;재공솔밀도위2.756×105 W/cm2화조사시간위60 s적조건하,용488 nm파장비514 nm파장적격광정화본정비정규박막효과교호,병균위단정태.
