化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响
화학기상침적과정각삼수대침적속도화박막정체조직결구적영향
THE INFLUENCES OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSING PARAMETERS COATING RATE AND FILM CRYSTAL STRUCTURES
  • 万方数据
    理化检验-物理分册 이화검험-물리분책
    PTCA(PART A:PHYSICAL TESTING)
    2001年 10期 420-423 ,共4页

    徐庆元%熊国刚%肖李鹏

    서경원%웅국강%초리붕

    化学气相沉积%薄膜%沉积速率%晶体结构 化學氣相沉積%薄膜%沉積速率%晶體結構
    화학기상침적%박막%침적속솔%정체결구
    以氢气还原氯化钨沉积纯钨薄膜为例,简述了化学气相沉积法反应的主要原理,叙述了在反应过程中各参数对沉积速率的影响,及各参数对晶体结构的影响.
    이경기환원록화오침적순오박막위례,간술료화학기상침적법반응적주요원리,서술료재반응과정중각삼수대침적속솔적영향,급각삼수대정체결구적영향.
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