感光科学与光化学
感光科學與光化學
감광과학여광화학
PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2007年
1期
69-79
,共11页
水溶性光致抗蚀剂%化学增幅%正型%负型
水溶性光緻抗蝕劑%化學增幅%正型%負型
수용성광치항식제%화학증폭%정형%부형
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
本文按傳統光化學反應型和化學增幅型兩種類型對近10年水溶性光緻抗蝕劑的髮展狀況做瞭分類總結,併重點介紹瞭成像反應原理和各體繫的優缺點.
본문안전통광화학반응형화화학증폭형량충류형대근10년수용성광치항식제적발전상황주료분류총결,병중점개소료성상반응원리화각체계적우결점.
