半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2008年
2期
106-108,175
,共4页
唐俊雄%唐明华%杨锋%张俊杰%周益春%郑学军
唐俊雄%唐明華%楊鋒%張俊傑%週益春%鄭學軍
당준웅%당명화%양봉%장준걸%주익춘%정학군
BDTV铁电薄膜%溶胶-凝胶%表面形貌%铁电性
BDTV鐵電薄膜%溶膠-凝膠%錶麵形貌%鐵電性
BDTV철전박막%용효-응효%표면형모%철전성
铁电材料在铁电存储器等领域具有良好的应用前景,受到极大的关注,其中铋层状铁电薄膜因为其良好的铁电性,得到了广泛的研究.采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底成功沉积出(Bi3.7Dy0.3)(Ti2.8V0.2)O12(BDTV)的A、B位同时掺杂的铁电薄膜,发现这种双掺能够显著改善薄膜的铁电性.研究了650～800℃不同退火温度下,BDTV铁电薄膜的铁电性能、晶体结构及表面形貌变化.通过SEM分析发现,温度为750℃时,薄膜的颗粒生长较好,薄膜的铁电性能最佳.
鐵電材料在鐵電存儲器等領域具有良好的應用前景,受到極大的關註,其中鉍層狀鐵電薄膜因為其良好的鐵電性,得到瞭廣汎的研究.採用溶膠-凝膠法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底成功沉積齣(Bi3.7Dy0.3)(Ti2.8V0.2)O12(BDTV)的A、B位同時摻雜的鐵電薄膜,髮現這種雙摻能夠顯著改善薄膜的鐵電性.研究瞭650～800℃不同退火溫度下,BDTV鐵電薄膜的鐵電性能、晶體結構及錶麵形貌變化.通過SEM分析髮現,溫度為750℃時,薄膜的顆粒生長較好,薄膜的鐵電性能最佳.
철전재료재철전존저기등영역구유량호적응용전경,수도겁대적관주,기중필층상철전박막인위기량호적철전성,득도료엄범적연구.채용용효-응효법재Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)기저성공침적출(Bi3.7Dy0.3)(Ti2.8V0.2)O12(BDTV)적A、B위동시참잡적철전박막,발현저충쌍참능구현저개선박막적철전성.연구료650～800℃불동퇴화온도하,BDTV철전박막적철전성능、정체결구급표면형모변화.통과SEM분석발현,온도위750℃시,박막적과립생장교호,박막적철전성능최가.
