功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
4期
821-826
,共6页
汤亮%李俊红%郝震宏%乔东海%汪承灏
湯亮%李俊紅%郝震宏%喬東海%汪承灝
탕량%리준홍%학진굉%교동해%왕승호
氧化锌薄膜%压电%磁控溅射%X射线衍射%体声波谐振器
氧化鋅薄膜%壓電%磁控濺射%X射線衍射%體聲波諧振器
양화자박막%압전%자공천사%X사선연사%체성파해진기
采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器.x射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.1624°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面.体声波器件的电学测试结果显示器件具有很好的多模谐振特性,说明ZnO压电薄膜很好地激发出了厚度方向的纵声波,可应用于体声波器件和声表面波器件中.另外采用间接的方法得到ZnO压电薄膜在870MHz时的介电常数约为5.24,介电损耗因子为1.07,进一步减小介电损耗因子,可以提高器件的Q值.
採用直流磁控濺射的方法製備瞭ZnO壓電薄膜,併在雙麵拋光的鎔融石英基片上製備瞭高次諧波體聲波諧振器.x射線衍射結果顯示ZnO壓電薄膜C軸擇優取嚮明顯,衍射峰半高寬為0.1624°,顯示齣較好的結晶質量;掃描電鏡分析觀察到ZnO垂直于基片錶麵的柱形晶粒結構和較平滑的薄膜錶麵.體聲波器件的電學測試結果顯示器件具有很好的多模諧振特性,說明ZnO壓電薄膜很好地激髮齣瞭厚度方嚮的縱聲波,可應用于體聲波器件和聲錶麵波器件中.另外採用間接的方法得到ZnO壓電薄膜在870MHz時的介電常數約為5.24,介電損耗因子為1.07,進一步減小介電損耗因子,可以提高器件的Q值.
채용직류자공천사적방법제비료ZnO압전박막,병재쌍면포광적용융석영기편상제비료고차해파체성파해진기.x사선연사결과현시ZnO압전박막C축택우취향명현,연사봉반고관위0.1624°,현시출교호적결정질량;소묘전경분석관찰도ZnO수직우기편표면적주형정립결구화교평활적박막표면.체성파기건적전학측시결과현시기건구유흔호적다모해진특성,설명ZnO압전박막흔호지격발출료후도방향적종성파,가응용우체성파기건화성표면파기건중.령외채용간접적방법득도ZnO압전박막재870MHz시적개전상수약위5.24,개전손모인자위1.07,진일보감소개전손모인자,가이제고기건적Q치.
