物理学报
物理學報
물이학보
2003年
9期
2259-2263
,共5页
劳技军%胡晓萍%虞晓江%李戈扬%顾明元
勞技軍%鬍曉萍%虞曉江%李戈颺%顧明元
로기군%호효평%우효강%리과양%고명원
薄膜的力学性能%外延生长%亚稳相
薄膜的力學性能%外延生長%亞穩相
박막적역학성능%외연생장%아은상
采用反应磁控溅射制备了AlN/VN纳米多层膜.研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的力学性能.结果表明:小周期多层膜中的AlN以亚稳的立方相(c-AlN)存在并与VN形成共格外延生长的超晶格.薄膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应.大调制周期下,AlN从立方结构转变为稳定的六方相(h-AlN),并使多层膜形成纳米晶的"砖墙"型结构.讨论认为VN的模板作用有利于c-AlN的生长,但不能显著提高其临界厚度.
採用反應磁控濺射製備瞭AlN/VN納米多層膜.研究瞭多層膜調製週期對AlN生長結構的影響以及納米多層膜的力學性能.結果錶明:小週期多層膜中的AlN以亞穩的立方相(c-AlN)存在併與VN形成共格外延生長的超晶格.薄膜產生硬度和彈性模量升高的超硬效應.大調製週期下,AlN從立方結構轉變為穩定的六方相(h-AlN),併使多層膜形成納米晶的"磚牆"型結構.討論認為VN的模闆作用有利于c-AlN的生長,但不能顯著提高其臨界厚度.
채용반응자공천사제비료AlN/VN납미다층막.연구료다층막조제주기대AlN생장결구적영향이급납미다층막적역학성능.결과표명:소주기다층막중적AlN이아은적립방상(c-AlN)존재병여VN형성공격외연생장적초정격.박막산생경도화탄성모량승고적초경효응.대조제주기하,AlN종립방결구전변위은정적륙방상(h-AlN),병사다층막형성납미정적"전장"형결구.토론인위VN적모판작용유리우c-AlN적생장,단불능현저제고기림계후도.
