真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
6期
439-441
,共3页
王金锁%许红%胡央丽%唐景远
王金鎖%許紅%鬍央麗%唐景遠
왕금쇄%허홍%호앙려%당경원
正压漏孔%系统总误差%漏率
正壓漏孔%繫統總誤差%漏率
정압루공%계통총오차%루솔
作者对正压漏孔校准方法作了研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.该装置校准范围1×10-4 Pa m3/s～1×10-7 Pa m3/s,在漏率2×10-6 Pa m3/s时系统总误差小于4.0%.
作者對正壓漏孔校準方法作瞭研究,為瞭對不同示漏氣體的正壓漏孔進行精確校準,建立瞭一套改進型的PΔV/t漏孔校準裝置,併對該裝置進行瞭不確定度的分析.該裝置校準範圍1×10-4 Pa m3/s～1×10-7 Pa m3/s,在漏率2×10-6 Pa m3/s時繫統總誤差小于4.0%.
작자대정압루공교준방법작료연구,위료대불동시루기체적정압루공진행정학교준,건립료일투개진형적PΔV/t루공교준장치,병대해장치진행료불학정도적분석.해장치교준범위1×10-4 Pa m3/s～1×10-7 Pa m3/s,재루솔2×10-6 Pa m3/s시계통총오차소우4.0%.
