W/B4C、W/C、W/Si多层膜的研究
W/B4C、W/C、W/Si다층막적연구
W/B4C、W/C、W/Si multilayers
  • 万方数据
    光学精密工程 광학정밀공정
    OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
    2005年 1期 28-33 ,共6页

    王风丽%王占山%张众%吴文娟%王洪昌%张淑敏%秦树基%陈玲燕

    왕풍려%왕점산%장음%오문연%왕홍창%장숙민%진수기%진령연

    多层膜%X射线衍射仪%同步辐射%透射电镜 多層膜%X射線衍射儀%同步輻射%透射電鏡
    다층막%X사선연사의%동보복사%투사전경
    给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1～7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用透射电镜(TEM)对样品的微观结构进行了研究.结果表明:周期大于1.3 nm的多层膜样品的结构质量高,膜层结构清晰,界面粗糙度小;周期为1.15 nm的多层膜的膜层结构不是很明显;所有膜层均为非晶态,没有晶相生成.结果还表明:采用目前的溅射设备和工艺过程能够制备出满足同步辐射荧光光束线上单色器用多层膜.
    급출료W/B4C、W/C、W/Si(오/탄화붕、오/탄、오/규)주기다층막적제비화측량연구.용초고진공직류자공천사방법제비출주기재1.1～7.2 nm범위내적다층막양품,채용X사선연사의(XRD)소각도측량방법검측다층막적광학성능,병용투사전경(TEM)대양품적미관결구진행료연구.결과표명:주기대우1.3 nm적다층막양품적결구질량고,막층결구청석,계면조조도소;주기위1.15 nm적다층막적막층결구불시흔명현;소유막층균위비정태,몰유정상생성.결과환표명:채용목전적천사설비화공예과정능구제비출만족동보복사형광광속선상단색기용다층막.
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