光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2006年
11期
31-35
,共5页
郭小伟%杜惊雷%陈铭勇%马延琴%杜春雷
郭小偉%杜驚雷%陳銘勇%馬延琴%杜春雷
곽소위%두량뢰%진명용%마연금%두춘뢰
数字光刻技术%图形发生器%数字微镜%边缘校正
數字光刻技術%圖形髮生器%數字微鏡%邊緣校正
수자광각기술%도형발생기%수자미경%변연교정
基于空间光调制器(SLM)数字光刻技术可用于IC掩模制作或直接作为微结构的加工工具,但用数字投影光刻系统加工某些结构的二元图形时,往往难以获得预期的图形轮廓,即图形边缘处有一定畸变,特别是较低缩小倍率时.本文提出优化设计图形边缘灰度的方法来校正光刻图形的畸变.文中分析了数字光刻制作这些二元光刻图形时空间像畸变产生的物理机制,详细讨论了设计图形边缘灰度优化的规则,并以加工圆孔滤波器为例,模拟了它的数字光刻成像过程.结果表明,设计图形的边缘采用灰度曝光可使其空间像畸变减小约8个百分点,光场分布更为均匀.数字灰度曝光技术简单易行,可为改善光刻图形质量提供了新途径.
基于空間光調製器(SLM)數字光刻技術可用于IC掩模製作或直接作為微結構的加工工具,但用數字投影光刻繫統加工某些結構的二元圖形時,往往難以穫得預期的圖形輪廓,即圖形邊緣處有一定畸變,特彆是較低縮小倍率時.本文提齣優化設計圖形邊緣灰度的方法來校正光刻圖形的畸變.文中分析瞭數字光刻製作這些二元光刻圖形時空間像畸變產生的物理機製,詳細討論瞭設計圖形邊緣灰度優化的規則,併以加工圓孔濾波器為例,模擬瞭它的數字光刻成像過程.結果錶明,設計圖形的邊緣採用灰度曝光可使其空間像畸變減小約8箇百分點,光場分佈更為均勻.數字灰度曝光技術簡單易行,可為改善光刻圖形質量提供瞭新途徑.
기우공간광조제기(SLM)수자광각기술가용우IC엄모제작혹직접작위미결구적가공공구,단용수자투영광각계통가공모사결구적이원도형시,왕왕난이획득예기적도형륜곽,즉도형변연처유일정기변,특별시교저축소배솔시.본문제출우화설계도형변연회도적방법래교정광각도형적기변.문중분석료수자광각제작저사이원광각도형시공간상기변산생적물리궤제,상세토론료설계도형변연회도우화적규칙,병이가공원공려파기위례,모의료타적수자광각성상과정.결과표명,설계도형적변연채용회도폭광가사기공간상기변감소약8개백분점,광장분포경위균균.수자회도폭광기술간단역행,가위개선광각도형질량제공료신도경.
