传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
486-489
,共4页
射频微机电系统%可调谐滤波器%椭圆低通滤波器%第一传输零点%频率移动%体硅微机械加工工艺
射頻微機電繫統%可調諧濾波器%橢圓低通濾波器%第一傳輸零點%頻率移動%體硅微機械加工工藝
사빈미궤전계통%가조해려파기%타원저통려파기%제일전수영점%빈솔이동%체규미궤계가공공예
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3 dB截止频率Tc.解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变.作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律.本文相应设计了Tc为16 GHz的7阶步进式滤波器.高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5 GHz,损耗特性则几乎不变.这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能.这种方法也可用于高通和带通滤波器.论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果.
提齣瞭一種橢圓低通可調濾波器的調諧方法,即通過調節第一傳輸零點(FTZ)來改變3 dB截止頻率Tc.解析計算錶明,小範圍內改變FTZ既可調節Tc和滾降速率,又能保證通帶和阻帶的特性基本不變.作者提齣FTZ的移動可由串聯諧振支路處容性MEMS開關的分佈加載來實現,併基于微擾法求齣器件中心諧振頻率及特性的變化規律.本文相應設計瞭Tc為16 GHz的7階步進式濾波器.高頻有限元全波倣真錶明,每加載一箇MEMS開關,Tc改變約1.5 GHz,損耗特性則幾乎不變.這證明瞭理論分析方法有較高的準確性,而且器件設計具有數字化調節能力和較齣色的微波性能.這種方法也可用于高通和帶通濾波器.論文還介紹瞭器件的體硅微加工流程及MEMS開關的初步加工結果.
제출료일충타원저통가조려파기적조해방법,즉통과조절제일전수영점(FTZ)래개변3 dB절지빈솔Tc.해석계산표명,소범위내개변FTZ기가조절Tc화곤강속솔,우능보증통대화조대적특성기본불변.작자제출FTZ적이동가유천련해진지로처용성MEMS개관적분포가재래실현,병기우미우법구출기건중심해진빈솔급특성적변화규률.본문상응설계료Tc위16 GHz적7계보진식려파기.고빈유한원전파방진표명,매가재일개MEMS개관,Tc개변약1.5 GHz,손모특성칙궤호불변.저증명료이론분석방법유교고적준학성,이차기건설계구유수자화조절능력화교출색적미파성능.저충방법야가용우고통화대통려파기.논문환개소료기건적체규미가공류정급MEMS개관적초보가공결과.
