无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
2期
361-363
,共3页
季振国%陈敏梅%张品%周强
季振國%陳敏梅%張品%週彊
계진국%진민매%장품%주강
直流磁控溅射%柔性衬底%ZnCdO薄膜%透明导电膜
直流磁控濺射%柔性襯底%ZnCdO薄膜%透明導電膜
직류자공천사%유성츤저%ZnCdO박막%투명도전막
利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜,并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO结构,但x>0.65时,薄膜为高度取向的ZnO结构.Hall效应测试显示,当x≤0.5时,薄膜的载流子浓度很高,电阻率为10-3Ω·cm的数量级;迁移率随x增加先增大.在x=0.5处达到极大值,然后随x的增加而降低.紫外可见透射谱表明,掺zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率.综合分析结果表明,x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
利用直流反應磁控濺射在柔性襯底(聚乙烯對苯二痠脂,PET)上低溫沉積瞭對可見光透明的低電阻率的ZnxCd1-xO薄膜,併研究瞭Zn含量x對ZnxCd1-xO薄膜的結晶性能、電學性能及光學性能的影響.XRD分析結果錶明,噹x<0.65時,薄膜為CdO結構,但x>0.65時,薄膜為高度取嚮的ZnO結構.Hall效應測試顯示,噹x≤0.5時,薄膜的載流子濃度很高,電阻率為10-3Ω·cm的數量級;遷移率隨x增加先增大.在x=0.5處達到極大值,然後隨x的增加而降低.紫外可見透射譜錶明,摻zn後的ZnxCd1-xO薄膜在整箇可見光波段內的透過率遠遠高于純CdO薄膜的透過率.綜閤分析結果錶明,x=0.5是低溫製備的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
이용직류반응자공천사재유성츤저(취을희대분이산지,PET)상저온침적료대가견광투명적저전조솔적ZnxCd1-xO박막,병연구료Zn함량x대ZnxCd1-xO박막적결정성능、전학성능급광학성능적영향.XRD분석결과표명,당x<0.65시,박막위CdO결구,단x>0.65시,박막위고도취향적ZnO결구.Hall효응측시현시,당x≤0.5시,박막적재류자농도흔고,전조솔위10-3Ω·cm적수량급;천이솔수x증가선증대.재x=0.5처체도겁대치,연후수x적증가이강저.자외가견투사보표명,참zn후적ZnxCd1-xO박막재정개가견광파단내적투과솔원원고우순CdO박막적투과솔.종합분석결과표명,x=0.5시저온제비적저조、고투광성능박막적최가Zn함량.
