现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2009年
5期
126-128
,共3页
VO2薄膜%掺杂改性%相变
VO2薄膜%摻雜改性%相變
VO2박막%참잡개성%상변
掺杂能明显改变二氧化钒(VO2)薄膜的相变温度,提高薄膜的电阻温度系数(T<,CR>).研究表明,W、Mo等大尺寸原子掺杂可以降低相变温度,相反Al、P小尺寸原子掺杂则使相变温度升高.综述掺杂改性的一般方法,各种不同掺杂元素对VO2薄膜相变、电学性能和光学性能的影响,介绍掺杂VO2的最新研究进展,并为扩大其应用领域探讨今后的研究方向.
摻雜能明顯改變二氧化釩(VO2)薄膜的相變溫度,提高薄膜的電阻溫度繫數(T<,CR>).研究錶明,W、Mo等大呎吋原子摻雜可以降低相變溫度,相反Al、P小呎吋原子摻雜則使相變溫度升高.綜述摻雜改性的一般方法,各種不同摻雜元素對VO2薄膜相變、電學性能和光學性能的影響,介紹摻雜VO2的最新研究進展,併為擴大其應用領域探討今後的研究方嚮.
참잡능명현개변이양화범(VO2)박막적상변온도,제고박막적전조온도계수(T<,CR>).연구표명,W、Mo등대척촌원자참잡가이강저상변온도,상반Al、P소척촌원자참잡칙사상변온도승고.종술참잡개성적일반방법,각충불동참잡원소대VO2박막상변、전학성능화광학성능적영향,개소참잡VO2적최신연구진전,병위확대기응용영역탐토금후적연구방향.
