固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2010年
4期
596-600
,共5页
王岳生%徐世六%刘伦才%黄文刚
王嶽生%徐世六%劉倫纔%黃文剛
왕악생%서세륙%류륜재%황문강
微电子机械系统%加速度计%低噪声%低功耗
微電子機械繫統%加速度計%低譟聲%低功耗
미전자궤계계통%가속도계%저조성%저공모
针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路.与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路.当电源电压为5 V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8 mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100 g.
針對MEMS電容式加速度傳感器,成功地研製齣瞭一種單芯片集成檢測電路.與國內常用的閉環結構不同,本電路採用的是開環檢測電路.噹電源電壓為5 V時,測得繫統功耗為9 mW,靈敏度為15.8 mV/g,線性誤差為1.8%,譟聲電壓的峰峰值小于200μV(12.6 mg),測量範圍為+/-100 g.
침대MEMS전용식가속도전감기,성공지연제출료일충단심편집성검측전로.여국내상용적폐배결구불동,본전로채용적시개배검측전로.당전원전압위5 V시,측득계통공모위9 mW,령민도위15.8 mV/g,선성오차위1.8%,조성전압적봉봉치소우200μV(12.6 mg),측량범위위+/-100 g.
