光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
754-761
,共8页
罗怡%张苗苗%孙屹博%王晓东
囉怡%張苗苗%孫屹博%王曉東
라이%장묘묘%손흘박%왕효동
超声波精密封接%MEMS%聚合物器件%导能结构%润湿
超聲波精密封接%MEMS%聚閤物器件%導能結構%潤濕
초성파정밀봉접%MEMS%취합물기건%도능결구%윤습
为提高聚合物超声波精密封接的可控性,预防高温度场下聚合物的熔融流延影响封接界面质量和精度,提出了阵列式微导能结构.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微小管道的封接为实验对象,研究了阵列微导能结构的尺度对超声波封接过程的影响;采用热压成型工艺在被封接表面制作了5组不同高度的微结构.采用基于声波传递效率反馈的超声波精密封接方式,对超声波作用下聚合物界面的润湿行为进行了观察分析,讨论了结构尺度对超声波封接质量的影响.结果表明,随着微结构尺寸的增大,实现完全联接需要的超声波能量呈递增的趋势.该种微导能结构有效控制了聚合物熔融流延,获得了均一的封接面,可实现高质量精密封接.
為提高聚閤物超聲波精密封接的可控性,預防高溫度場下聚閤物的鎔融流延影響封接界麵質量和精度,提齣瞭陣列式微導能結構.以聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)微小管道的封接為實驗對象,研究瞭陣列微導能結構的呎度對超聲波封接過程的影響;採用熱壓成型工藝在被封接錶麵製作瞭5組不同高度的微結構.採用基于聲波傳遞效率反饋的超聲波精密封接方式,對超聲波作用下聚閤物界麵的潤濕行為進行瞭觀察分析,討論瞭結構呎度對超聲波封接質量的影響.結果錶明,隨著微結構呎吋的增大,實現完全聯接需要的超聲波能量呈遞增的趨勢.該種微導能結構有效控製瞭聚閤物鎔融流延,穫得瞭均一的封接麵,可實現高質量精密封接.
위제고취합물초성파정밀봉접적가공성,예방고온도장하취합물적용융류연영향봉접계면질량화정도,제출료진렬식미도능결구.이취갑기병희산갑지(PMMA)미소관도적봉접위실험대상,연구료진렬미도능결구적척도대초성파봉접과정적영향;채용열압성형공예재피봉접표면제작료5조불동고도적미결구.채용기우성파전체효솔반궤적초성파정밀봉접방식,대초성파작용하취합물계면적윤습행위진행료관찰분석,토론료결구척도대초성파봉접질량적영향.결과표명,수착미결구척촌적증대,실현완전련접수요적초성파능량정체증적추세.해충미도능결구유효공제료취합물용융류연,획득료균일적봉접면,가실현고질량정밀봉접.
