人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
3期
594-598
,共5页
赵金博%吴莉莉%邹科%于伟燕%李高增
趙金博%吳莉莉%鄒科%于偉燕%李高增
조금박%오리리%추과%우위연%리고증
透明导电薄膜%ZAO薄膜%离子液体%溶胶-凝胶%光电性能
透明導電薄膜%ZAO薄膜%離子液體%溶膠-凝膠%光電性能
투명도전박막%ZAO박막%리자액체%용효-응효%광전성능
采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜.通过X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能.结果表明,所制备的薄膜为非(002)取向的多晶膜.随着Al离子掺杂浓度的提高,薄膜的(002)晶面取向增强,晶粒逐渐由片状向球形转变,电阻率先降低后升高.进一步研究发现,在还原气氛NH3下退火可显著降低薄膜的电阻率,Al掺杂浓度为1 mol%时,薄膜电阻率达到4.7×10-2Ω·cm,可见光透过率平均在80%以上.
採用溶膠-凝膠法,以離子液體為輔助溶劑,在玻璃襯底上製備瞭ZnO:Al(ZAO)薄膜.通過X-射線衍射(XRD)、場髮射掃描電鏡(FE-SEM)、紫外-可見分光光度計(UV-Vis)和霍爾效應等測試手段,分析瞭不同Al摻雜濃度ZAO薄膜的微觀結構、光學和電學性能.結果錶明,所製備的薄膜為非(002)取嚮的多晶膜.隨著Al離子摻雜濃度的提高,薄膜的(002)晶麵取嚮增彊,晶粒逐漸由片狀嚮毬形轉變,電阻率先降低後升高.進一步研究髮現,在還原氣氛NH3下退火可顯著降低薄膜的電阻率,Al摻雜濃度為1 mol%時,薄膜電阻率達到4.7×10-2Ω·cm,可見光透過率平均在80%以上.
채용용효-응효법,이리자액체위보조용제,재파리츤저상제비료ZnO:Al(ZAO)박막.통과X-사선연사(XRD)、장발사소묘전경(FE-SEM)、자외-가견분광광도계(UV-Vis)화곽이효응등측시수단,분석료불동Al참잡농도ZAO박막적미관결구、광학화전학성능.결과표명,소제비적박막위비(002)취향적다정막.수착Al리자참잡농도적제고,박막적(002)정면취향증강,정립축점유편상향구형전변,전조솔선강저후승고.진일보연구발현,재환원기분NH3하퇴화가현저강저박막적전조솔,Al참잡농도위1 mol%시,박막전조솔체도4.7×10-2Ω·cm,가견광투과솔평균재80%이상.
