CAJ | 학술논문

采用与MEMS兼容的工艺,自上而下制作了分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜(HNAGF)电极.利用扫描电子显微镜(SEM)、能量散射谱(EDS)对上述多层薄膜电板结构进行了表征.SEM图像显示底层金层为多孔结构,上层阳极氧化铝层具有有序的多孔的结构特性.以H<,2>O<,2>为探针,通过循环伏安法分别评价了HNAGF电极和传统的裸金薄膜电极的电化学性能.结果表明HNAGF电极不仅对电子传递没有明显障碍,而且对H<,2>O<,2>表现出更好的催化活性和更高的灵敏性.这种新颖的分级多孔纳米薄膜电极将在电流型电化学传感器领域具有广阔的应用前景.
채용여MEMS겸용적공예,자상이하제작료분급다공납미결구적양화려/금다층박막(HNAGF)전겁.이용소묘전자현미경(SEM)、능량산사보(EDS)대상술다층박막전판결구진행료표정.SEM도상현시저층금층위다공결구,상층양겁양화려층구유유서적다공적결구특성.이H<,2>O<,2>위탐침,통과순배복안법분별평개료HNAGF전겁화전통적라금박막전겁적전화학성능.결과표명HNAGF전겁불부대전자전체몰유명현장애,이차대H<,2>O<,2>표현출경호적최화활성화경고적령민성.저충신영적분급다공납미박막전겁장재전류형전화학전감기영역구유엄활적응용전경.