物理学报
物理學報
물이학보
2004年
2期
636-639
,共4页
宋永梁%季振国%刘坤%王超%向因%叶志镇
宋永樑%季振國%劉坤%王超%嚮因%葉誌鎮
송영량%계진국%류곤%왕초%향인%협지진
ZnO薄膜%光致发光
ZnO薄膜%光緻髮光
ZnO박막%광치발광
采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,而可见波段的发射很弱;当热处理温度高于550℃时,可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会导致晶粒发生团聚,导致紫外发射峰强度减弱.
採用溶膠-凝膠鏇塗法在Si(111)襯底上生長瞭ZnO薄膜,併用熒光光譜、原子力顯微鏡和XRD對ZnO薄膜樣品進行瞭分析.結果錶明,溶膠-凝膠鏇塗法製備的ZnO薄膜為纖鋅礦結構,其c軸取嚮程度與熱處理溫度有很大的關繫.噹熱處理溫度小于550℃時,氧化鋅薄膜在室溫下均有較彊的紫外帶邊髮射峰,而可見波段的髮射很弱;噹熱處理溫度高于550℃時,可見波段髮射明顯增彊.對經過不同時間熱處理的ZnO薄膜樣品分析錶明,氧化鋅薄膜的熒光特性及錶麵形貌與熱處理時間也有很大關繫,時間過短可見波段的髮射較彊,但時間過長會導緻晶粒髮生糰聚,導緻紫外髮射峰彊度減弱.
채용용효-응효선도법재Si(111)츤저상생장료ZnO박막,병용형광광보、원자력현미경화XRD대ZnO박막양품진행료분석.결과표명,용효-응효선도법제비적ZnO박막위섬자광결구,기c축취향정도여열처리온도유흔대적관계.당열처리온도소우550℃시,양화자박막재실온하균유교강적자외대변발사봉,이가견파단적발사흔약;당열처리온도고우550℃시,가견파단발사명현증강.대경과불동시간열처리적ZnO박막양품분석표명,양화자박막적형광특성급표면형모여열처리시간야유흔대관계,시간과단가견파단적발사교강,단시간과장회도치정립발생단취,도치자외발사봉강도감약.
