真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
3期
204-210
,共7页
杨文茂%刘艳文%徐禄祥%冷永祥%黄楠
楊文茂%劉豔文%徐祿祥%冷永祥%黃楠
양문무%류염문%서록상%랭영상%황남
溅射沉积%磁控溅射%非平衡磁控溅射%脉冲溅射
濺射沉積%磁控濺射%非平衡磁控濺射%脈遲濺射
천사침적%자공천사%비평형자공천사%맥충천사
论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况.二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射沉积技术进入实质的工业化应用,并通过控制磁控靶磁场的分布方式和增加磁控靶数量,进一步发展为非平衡磁控溅射、多靶闭合式非平衡磁控溅射等,拓宽了应用范围.射频、脉冲电源尤其是脉冲电源在溅射技术中的使用极大地延伸了溅射沉积技术的应用范围.
論述瞭濺射沉積薄膜技術的髮展歷程及其目前的研究應用狀況.二極濺射應用于薄膜製備,揭開瞭濺射沉積技術的序幕,磁控濺射促使濺射沉積技術進入實質的工業化應用,併通過控製磁控靶磁場的分佈方式和增加磁控靶數量,進一步髮展為非平衡磁控濺射、多靶閉閤式非平衡磁控濺射等,拓寬瞭應用範圍.射頻、脈遲電源尤其是脈遲電源在濺射技術中的使用極大地延伸瞭濺射沉積技術的應用範圍.
논술료천사침적박막기술적발전역정급기목전적연구응용상황.이겁천사응용우박막제비,게개료천사침적기술적서막,자공천사촉사천사침적기술진입실질적공업화응용,병통과공제자공파자장적분포방식화증가자공파수량,진일보발전위비평형자공천사、다파폐합식비평형자공천사등,탁관료응용범위.사빈、맥충전원우기시맥충전원재천사기술중적사용겁대지연신료천사침적기술적응용범위.
