人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
3期
451-455,460
,共6页
赵勇%程国安%郑瑞廷%刘华平%梁昌林
趙勇%程國安%鄭瑞廷%劉華平%樑昌林
조용%정국안%정서정%류화평%량창림
铁纳米薄膜%氨刻蚀%显微形态
鐵納米薄膜%氨刻蝕%顯微形態
철납미박막%안각식%현미형태
本文研究了750℃高温氨刻蚀对硅基铁纳米薄膜显微形态变化的影响.找到了纳米铁颗粒平均直径和平均分布密度随刻蚀时间、薄膜厚度等参数变化的规律,并对氨在其变化过程中的作用机制进行了初步探讨.研究发现: 5～10nm的薄膜原始厚度和8～12min的刻蚀时间是硅基铁纳米薄膜催化高定向碳纳米管阵列化学气相沉积生长的较理想条件.
本文研究瞭750℃高溫氨刻蝕對硅基鐵納米薄膜顯微形態變化的影響.找到瞭納米鐵顆粒平均直徑和平均分佈密度隨刻蝕時間、薄膜厚度等參數變化的規律,併對氨在其變化過程中的作用機製進行瞭初步探討.研究髮現: 5～10nm的薄膜原始厚度和8～12min的刻蝕時間是硅基鐵納米薄膜催化高定嚮碳納米管陣列化學氣相沉積生長的較理想條件.
본문연구료750℃고온안각식대규기철납미박막현미형태변화적영향.조도료납미철과립평균직경화평균분포밀도수각식시간、박막후도등삼수변화적규률,병대안재기변화과정중적작용궤제진행료초보탐토.연구발현: 5～10nm적박막원시후도화8～12min적각식시간시규기철납미박막최화고정향탄납미관진렬화학기상침적생장적교이상조건.
