武汉工业学院学报
武漢工業學院學報
무한공업학원학보
JOURNAL OF WUHAN POLYTECHNIC UNIVERSITY
2007年
2期
104-106
,共3页
脉冲激光沉积%薄膜%ZnS%等离子体
脈遲激光沉積%薄膜%ZnS%等離子體
맥충격광침적%박막%ZnS%등리자체
采用YAG固体激光器(1064nm)和XeCl(308nm)准分子激光器,利用脉冲激光沉积技术,研究了不同的脉冲激光能量密度和不同波长的激光器对制备的ZnS薄膜的影响.利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对制备样品的结构、形貌特性进行了表征.结果表明:脉冲激光能量密度过高会使薄膜质量变坏;XeCl激光器制备的薄膜质量更好.
採用YAG固體激光器(1064nm)和XeCl(308nm)準分子激光器,利用脈遲激光沉積技術,研究瞭不同的脈遲激光能量密度和不同波長的激光器對製備的ZnS薄膜的影響.利用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)對製備樣品的結構、形貌特性進行瞭錶徵.結果錶明:脈遲激光能量密度過高會使薄膜質量變壞;XeCl激光器製備的薄膜質量更好.
채용YAG고체격광기(1064nm)화XeCl(308nm)준분자격광기,이용맥충격광침적기술,연구료불동적맥충격광능량밀도화불동파장적격광기대제비적ZnS박막적영향.이용X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)대제비양품적결구、형모특성진행료표정.결과표명:맥충격광능량밀도과고회사박막질량변배;XeCl격광기제비적박막질량경호.
