南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS & ASTRONAUTICS
2007年
3期
338-342
,共5页
李多生%左敦稳%陈荣发%相炳坤%赵礼刚
李多生%左敦穩%陳榮髮%相炳坤%趙禮剛
리다생%좌돈은%진영발%상병곤%조례강
等离子体%大尺寸平面金刚石膜%化学气相沉积%弧源稳定性
等離子體%大呎吋平麵金剛石膜%化學氣相沉積%弧源穩定性
등리자체%대척촌평면금강석막%화학기상침적%호원은정성
保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析.研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子及原子基团密度.金刚石膜在某些条件下长时间生长时,会发生阳极环积碳现象,导致等离子体弧源扰动失稳,从而引起生长的金刚石膜含有石墨杂质.通过预处理阳极环、控制碳源、加大氢气量等措施可保持弧源稳定.在此条件下生长金刚石膜,经SEM,Raman分析表明,其晶粒均匀、晶界清晰,仅有金刚石特征峰出现.
保持等離子體弧源穩定性對于製備大呎吋平麵金剛石膜極其重要,故從理論和實驗兩箇方麵對等離子體弧源穩定性進行瞭分析.研究錶明,為瞭保持弧源的穩定,必鬚在生長過程中,保持穩定的電子溫度和均勻的活性原子及原子基糰密度.金剛石膜在某些條件下長時間生長時,會髮生暘極環積碳現象,導緻等離子體弧源擾動失穩,從而引起生長的金剛石膜含有石墨雜質.通過預處理暘極環、控製碳源、加大氫氣量等措施可保持弧源穩定.在此條件下生長金剛石膜,經SEM,Raman分析錶明,其晶粒均勻、晶界清晰,僅有金剛石特徵峰齣現.
보지등리자체호원은정성대우제비대척촌평면금강석막겁기중요,고종이론화실험량개방면대등리자체호원은정성진행료분석.연구표명,위료보지호원적은정,필수재생장과정중,보지은정적전자온도화균균적활성원자급원자기단밀도.금강석막재모사조건하장시간생장시,회발생양겁배적탄현상,도치등리자체호원우동실은,종이인기생장적금강석막함유석묵잡질.통과예처리양겁배、공제탄원、가대경기량등조시가보지호원은정.재차조건하생장금강석막,경SEM,Raman분석표명,기정립균균、정계청석,부유금강석특정봉출현.
