电子科技
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전자과기
IT AGE
2010年
3期
86-89
,共4页
不对称梳齿%电容式加速度计%体硅工艺
不對稱梳齒%電容式加速度計%體硅工藝
불대칭소치%전용식가속도계%체규공예
设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度.x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰.电容的差分结构有利于提高加速度计的检测性能.用Ansys仿真软件对敏感结构进行静态和模态分析,理论上验证了所提出的三轴电容式加速度计整体结构的可行性.
設計瞭一種新型結構的體硅工藝梳齒電容式加速度計,該設計採用2箇檢測質量塊,分彆檢測水平方嚮和垂直方嚮的加速度.x,y水平方嚮不對稱梳齒的設計,消除瞭z軸對水平軸嚮加速度的榦擾,同時z軸支撐樑的設計,解決瞭水平軸嚮對z軸的榦擾.電容的差分結構有利于提高加速度計的檢測性能.用Ansys倣真軟件對敏感結構進行靜態和模態分析,理論上驗證瞭所提齣的三軸電容式加速度計整體結構的可行性.
설계료일충신형결구적체규공예소치전용식가속도계,해설계채용2개검측질량괴,분별검측수평방향화수직방향적가속도.x,y수평방향불대칭소치적설계,소제료z축대수평축향가속도적간우,동시z축지탱량적설계,해결료수평축향대z축적간우.전용적차분결구유리우제고가속도계적검측성능.용Ansys방진연건대민감결구진행정태화모태분석,이론상험증료소제출적삼축전용식가속도계정체결구적가행성.
