东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2010年
2期
67-70
,共4页
多晶硅%还原炉%高压启动
多晶硅%還原爐%高壓啟動
다정규%환원로%고압계동
介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置.该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的自动化控制,并最终实现与中压加热设备的可靠衔接.
介紹瞭一種用于多晶硅生產用的還原爐高壓啟動裝置.該裝置能夠實時檢測硅芯中的電流和其變化趨勢,自動調整施加在硅芯上的電壓,從而實現多晶硅生產中高壓啟動和預加熱階段的自動化控製,併最終實現與中壓加熱設備的可靠銜接.
개소료일충용우다정규생산용적환원로고압계동장치.해장치능구실시검측규심중적전류화기변화추세,자동조정시가재규심상적전압,종이실현다정규생산중고압계동화예가열계단적자동화공제,병최종실현여중압가열설비적가고함접.