仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
11期
2592-2596
,共5页
董海峰%房建成%周斌权%秦杰%万双爱
董海峰%房建成%週斌權%秦傑%萬雙愛
동해봉%방건성%주빈권%진걸%만쌍애
陀螺%原子自旋%气室芯片%传感器
陀螺%原子自鏇%氣室芯片%傳感器
타라%원자자선%기실심편%전감기
原子自旋陀螺是基于原子自旋极化效应的一类陀螺仪,在实现高精度检测的同时,又具有小型化和批量化制造的潜力.本文针对原子自旋陀螺对气室芯片的高浓度补偿气氛要求,结合集成制造的技术趋势,设计制造了能承受20×101.325 kPa气压的气室芯片专用键合装置.完成了集成RF线圈的6amagat Amagat为浓度单位,定义为1个大气压0℃情况下单位体积内理想气体的分子数浓度原子自旋陀螺用气室芯片的工艺流程设计并进行了工艺流片.流片结果获得了完整的气室芯片结构,漏率的检测结果为3.0×10-8 Pa·m3/s,验证了装置和工艺的可行性.
原子自鏇陀螺是基于原子自鏇極化效應的一類陀螺儀,在實現高精度檢測的同時,又具有小型化和批量化製造的潛力.本文針對原子自鏇陀螺對氣室芯片的高濃度補償氣氛要求,結閤集成製造的技術趨勢,設計製造瞭能承受20×101.325 kPa氣壓的氣室芯片專用鍵閤裝置.完成瞭集成RF線圈的6amagat Amagat為濃度單位,定義為1箇大氣壓0℃情況下單位體積內理想氣體的分子數濃度原子自鏇陀螺用氣室芯片的工藝流程設計併進行瞭工藝流片.流片結果穫得瞭完整的氣室芯片結構,漏率的檢測結果為3.0×10-8 Pa·m3/s,驗證瞭裝置和工藝的可行性.
원자자선타라시기우원자자선겁화효응적일류타라의,재실현고정도검측적동시,우구유소형화화비양화제조적잠력.본문침대원자자선타라대기실심편적고농도보상기분요구,결합집성제조적기술추세,설계제조료능승수20×101.325 kPa기압적기실심편전용건합장치.완성료집성RF선권적6amagat Amagat위농도단위,정의위1개대기압0℃정황하단위체적내이상기체적분자수농도원자자선타라용기실심편적공예류정설계병진행료공예류편.류편결과획득료완정적기실심편결구,루솔적검측결과위3.0×10-8 Pa·m3/s,험증료장치화공예적가행성.
