新疆大学学报（自然科学版）
新疆大學學報（自然科學版）
신강대학학보（자연과학판）
XINJIANG UNIVERSITY JOURNAL(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
3期
335-337
,共3页
卡马勒·托克达尔汗%拜山·沙德克
卡馬勒·託剋達爾汗%拜山·沙德剋
잡마륵·탁극체이한%배산·사덕극
磁性薄膜%自由层%保护层
磁性薄膜%自由層%保護層
자성박막%자유층%보호층
本文主要讲述了SV-TMR结构中以自由层为模拟的多层膜SiO2/NiFe/Ta与SiO2/NiFe/Ru中,不同厚度的保护层钽(Ta)和钌(Ru)对磁性层NiFe的影响.我们采用振动样品磁强计(VSM)和X射线衍射仪(XRD)对该薄膜进行了结构测试和深度剖析,结果表明:改变保护层厚度时,两种样品的饱和磁化强度不变,随Ru厚度的增加,样品SiO2/NiFe/Ru的矫顽力也增加.同时用XRD测量发现,以Ru为保护层生长的样品比Ta为保护层生长的样品具有更好的织构,更好的结晶性.Ru比Ta更适合做磁电阻多层膜的保护层.
本文主要講述瞭SV-TMR結構中以自由層為模擬的多層膜SiO2/NiFe/Ta與SiO2/NiFe/Ru中,不同厚度的保護層鐽(Ta)和釕(Ru)對磁性層NiFe的影響.我們採用振動樣品磁彊計(VSM)和X射線衍射儀(XRD)對該薄膜進行瞭結構測試和深度剖析,結果錶明:改變保護層厚度時,兩種樣品的飽和磁化彊度不變,隨Ru厚度的增加,樣品SiO2/NiFe/Ru的矯頑力也增加.同時用XRD測量髮現,以Ru為保護層生長的樣品比Ta為保護層生長的樣品具有更好的織構,更好的結晶性.Ru比Ta更適閤做磁電阻多層膜的保護層.
본문주요강술료SV-TMR결구중이자유층위모의적다층막SiO2/NiFe/Ta여SiO2/NiFe/Ru중,불동후도적보호층단(Ta)화조(Ru)대자성층NiFe적영향.아문채용진동양품자강계(VSM)화X사선연사의(XRD)대해박막진행료결구측시화심도부석,결과표명:개변보호층후도시,량충양품적포화자화강도불변,수Ru후도적증가,양품SiO2/NiFe/Ru적교완력야증가.동시용XRD측량발현,이Ru위보호층생장적양품비Ta위보호층생장적양품구유경호적직구,경호적결정성.Ru비Ta경괄합주자전조다층막적보호층.
