等离子清洗处理SERS活性金岛膜表面杂质的研究
등리자청세처리SERS활성금도막표면잡질적연구
A Research on Plasma Cleaning for Removing Contaminants from SERS-active Gold Island Films Surfaces
  • 万方数据
    光散射学报 광산사학보
    CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
    2011年 1期 28-32 ,共5页

    郭浩%丁丽%莫育俊

    곽호%정려%막육준

    金岛膜%表面增强拉曼光谱%等离子体清洗%除杂 金島膜%錶麵增彊拉曼光譜%等離子體清洗%除雜
    금도막%표면증강랍만광보%등리자체청세%제잡
    采用真空蒸镀法在硅片表面形成了一层具有表面增强拉曼活性的金岛膜.拉曼光谱发现该金岛膜表面存在非晶态碳的污染物.通过比较不同清洗方法的拉曼光谱可以证明,用氧气等离子体清洗金岛膜可有效去除金表面的杂质.金岛膜的表面增强拉曼活性在清洗前后没有发生明显变化.
    채용진공증도법재규편표면형성료일층구유표면증강랍만활성적금도막.랍만광보발현해금도막표면존재비정태탄적오염물.통과비교불동청세방법적랍만광보가이증명,용양기등리자체청세금도막가유효거제금표면적잡질.금도막적표면증강랍만활성재청세전후몰유발생명현변화.
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