光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
12期
41-47
,共7页
陶逢刚%姚军%汪为民%庄须叶%张恒%胡放荣
陶逢剛%姚軍%汪為民%莊鬚葉%張恆%鬍放榮
도봉강%요군%왕위민%장수협%장항%호방영
MEMS%静电排斥微驱动器%压膜阻尼效应%动态分析
MEMS%靜電排斥微驅動器%壓膜阻尼效應%動態分析
MEMS%정전배척미구동기%압막조니효응%동태분석
基于非均匀电场可产生静电排斥力的原理,设计制造了单元尺寸为300 μm的MEMS静电排斥型离面驱动器.此驱动器不受静电吸合效应的限制,行程较传统静电吸引型驱动器有显著提高.利用表面硅工艺完成了该驱动器的加工.为研究静电排斥型驱动器的动态响应特性,建立了该驱动器的等效模型并利用数值计算方法分析了驱动器的压膜阻尼特性和幅频特性.采用白光干涉仪对微驱动器进行了静态和动态测试,测试结果表明,所设计的MEMS静电排斥驱动器在100V的电压下实现了2.1μm的驱动位移,工作带宽为2kHz,具有较快的响应速度.
基于非均勻電場可產生靜電排斥力的原理,設計製造瞭單元呎吋為300 μm的MEMS靜電排斥型離麵驅動器.此驅動器不受靜電吸閤效應的限製,行程較傳統靜電吸引型驅動器有顯著提高.利用錶麵硅工藝完成瞭該驅動器的加工.為研究靜電排斥型驅動器的動態響應特性,建立瞭該驅動器的等效模型併利用數值計算方法分析瞭驅動器的壓膜阻尼特性和幅頻特性.採用白光榦涉儀對微驅動器進行瞭靜態和動態測試,測試結果錶明,所設計的MEMS靜電排斥驅動器在100V的電壓下實現瞭2.1μm的驅動位移,工作帶寬為2kHz,具有較快的響應速度.
기우비균균전장가산생정전배척력적원리,설계제조료단원척촌위300 μm적MEMS정전배척형리면구동기.차구동기불수정전흡합효응적한제,행정교전통정전흡인형구동기유현저제고.이용표면규공예완성료해구동기적가공.위연구정전배척형구동기적동태향응특성,건립료해구동기적등효모형병이용수치계산방법분석료구동기적압막조니특성화폭빈특성.채용백광간섭의대미구동기진행료정태화동태측시,측시결과표명,소설계적MEMS정전배척구동기재100V적전압하실현료2.1μm적구동위이,공작대관위2kHz,구유교쾌적향응속도.
