红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2011年
9期
501-504
,共4页
邵秀梅%李淘%邓洪海%程吉凤%陈郁%唐恒敬%李雪
邵秀梅%李淘%鄧洪海%程吉鳳%陳鬱%唐恆敬%李雪
소수매%리도%산홍해%정길봉%진욱%당항경%리설
InGaAs%平面型探测器%保护环%短波红外
InGaAs%平麵型探測器%保護環%短波紅外
InGaAs%평면형탐측기%보호배%단파홍외
设计了带有保护环结构的平面型24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用n-i-n+型InP/Ino.53Gao.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器.LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果；I-V测试表明器件的优值因子R0A约4.2×106Ω·cm2,在-0.1 V反向偏压下的暗电流密度约22 nA/cm2,拟合得到的理想因子接近1,说明正向电流成分主要为扩散电流；在室温20℃,器件的响应光谱在0.9～1.68 tm波段范围,其平均峰值电流响应率为1.24 A/W,平均峰值探测率为3.0×1012 cm·Hz1/2/W,量子效率接近95％,响应的不均匀性为2.63％.
設計瞭帶有保護環結構的平麵型24×1 InGaAs線列短波紅外探測器,利用n-i-n+型InP/Ino.53Gao.47As/InP外延材料閉管擴散製備瞭平麵型探測器.LBIC測試顯示光敏元沒有明顯擴大,保護環起到瞭有效的隔離效果；I-V測試錶明器件的優值因子R0A約4.2×106Ω·cm2,在-0.1 V反嚮偏壓下的暗電流密度約22 nA/cm2,擬閤得到的理想因子接近1,說明正嚮電流成分主要為擴散電流；在室溫20℃,器件的響應光譜在0.9～1.68 tm波段範圍,其平均峰值電流響應率為1.24 A/W,平均峰值探測率為3.0×1012 cm·Hz1/2/W,量子效率接近95％,響應的不均勻性為2.63％.
설계료대유보호배결구적평면형24×1 InGaAs선렬단파홍외탐측기,이용n-i-n+형InP/Ino.53Gao.47As/InP외연재료폐관확산제비료평면형탐측기.LBIC측시현시광민원몰유명현확대,보호배기도료유효적격리효과；I-V측시표명기건적우치인자R0A약4.2×106Ω·cm2,재-0.1 V반향편압하적암전류밀도약22 nA/cm2,의합득도적이상인자접근1,설명정향전류성분주요위확산전류；재실온20℃,기건적향응광보재0.9～1.68 tm파단범위,기평균봉치전류향응솔위1.24 A/W,평균봉치탐측솔위3.0×1012 cm·Hz1/2/W,양자효솔접근95％,향응적불균균성위2.63％.
