光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
z1期
95-98
,共4页
段学霆%周仁魁%吴萌源%李英才%王鹏%李华
段學霆%週仁魁%吳萌源%李英纔%王鵬%李華
단학정%주인괴%오맹원%리영재%왕붕%리화
光学装调%中心轴支撑%大口径反射镜%微变形装配
光學裝調%中心軸支撐%大口徑反射鏡%微變形裝配
광학장조%중심축지탱%대구경반사경%미변형장배
本文运用力学分析方法,揭示了工程实践中的基于中心轴支撑的大口径高精度反射镜面型变化机理,通过有限元分析结果与实验结果的对比,提出了使用装调手段控制其在微小范围变形的基本方法；在对520mm口径中心轴支撑椭球面反射镜进行装调的实例中,运用该方法获得了RMS值1/50λ(λ=632.8 nm)的面型精度.
本文運用力學分析方法,揭示瞭工程實踐中的基于中心軸支撐的大口徑高精度反射鏡麵型變化機理,通過有限元分析結果與實驗結果的對比,提齣瞭使用裝調手段控製其在微小範圍變形的基本方法；在對520mm口徑中心軸支撐橢毬麵反射鏡進行裝調的實例中,運用該方法穫得瞭RMS值1/50λ(λ=632.8 nm)的麵型精度.
본문운용역학분석방법,게시료공정실천중적기우중심축지탱적대구경고정도반사경면형변화궤리,통과유한원분석결과여실험결과적대비,제출료사용장조수단공제기재미소범위변형적기본방법；재대520mm구경중심축지탱타구면반사경진행장조적실례중,운용해방법획득료RMS치1/50λ(λ=632.8 nm)적면형정도.
