安徽化工
安徽化工
안휘화공
ANHUI CHEMICAL INDUSTRY
2005年
3期
5-8
,共4页
郭佑彪%董雯侠%李满华%丁为甫%刘国平
郭祐彪%董雯俠%李滿華%丁為甫%劉國平
곽우표%동문협%리만화%정위보%류국평
纳米加工%AFM针%微电子%刻蚀
納米加工%AFM針%微電子%刻蝕
납미가공%AFM침%미전자%각식
纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域.简要介绍了与机械制造有关的纳米加工技术,讨论了纳米加工技术的物理实质,介绍了与之相关的关键技术及其元器件等.
納米技術是噹代科技髮展的一箇新興領域.簡要介紹瞭與機械製造有關的納米加工技術,討論瞭納米加工技術的物理實質,介紹瞭與之相關的關鍵技術及其元器件等.
납미기술시당대과기발전적일개신흥영역.간요개소료여궤계제조유관적납미가공기술,토론료납미가공기술적물리실질,개소료여지상관적관건기술급기원기건등.
