西南师范大学学报(自然科学版)
西南師範大學學報(自然科學版)
서남사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTHWEST CHINA NORMAL UNIVERSITY
2005年
4期
682-686
,共5页
章娴君%郑慧雯%张庆熙%王显祥
章嫻君%鄭慧雯%張慶熙%王顯祥
장한군%정혜문%장경희%왕현상
功能梯度材料(FGM)%金属有机化学气相沉积(MOCVD)%X射线光电子能谱(XPS)%表面形貌
功能梯度材料(FGM)%金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)%X射線光電子能譜(XPS)%錶麵形貌
공능제도재료(FGM)%금속유궤화학기상침적(MOCVD)%X사선광전자능보(XPS)%표면형모
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Si(OC2H5)4为物源,在Al2O3陶瓷基片上制备了金属-陶瓷功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM等技术对其成分分布,物相组成和表面形貌进行测试和表征.结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律.
利用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Si(OC2H5)4為物源,在Al2O3陶瓷基片上製備瞭金屬-陶瓷功能梯度材料,併用XPS,XRD,SEM等技術對其成分分佈,物相組成和錶麵形貌進行測試和錶徵.結果錶明:材料的組成沿厚度方嚮呈連續梯度變化,符閤功能梯度材料的變化規律.
이용금속유궤화학기상침적(MOCVD)방법,이Mo(CO)6,Si(OC2H5)4위물원,재Al2O3도자기편상제비료금속-도자공능제도재료,병용XPS,XRD,SEM등기술대기성분분포,물상조성화표면형모진행측시화표정.결과표명:재료적조성연후도방향정련속제도변화,부합공능제도재료적변화규률.