光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2007年
4期
690-694
,共5页
张海明%马春生%秦政坤%张希珍%张丹%刘式墉%张大明
張海明%馬春生%秦政坤%張希珍%張丹%劉式墉%張大明
장해명%마춘생%진정곤%장희진%장단%류식용%장대명
平面光波回路%阵列波导光栅%蒸气回溶%插入损耗%串扰
平麵光波迴路%陣列波導光柵%蒸氣迴溶%插入損耗%串擾
평면광파회로%진렬파도광책%증기회용%삽입손모%천우
阵列波导光栅(AWG)器件是波分复用(WDM)系统的一种关键器件,其中,聚合物阵列波导光栅由于其制备工艺、器件集成等方面的优势而受到人们的日益关注.侧壁散射损耗是聚合物阵列波导光栅损耗的一个主要因素,减少阵列波导光栅波导的侧壁损耗对制备低损耗阵列波导光栅具有重要意义.一种蒸气回溶技术被用来有效地减少硅基聚合物阵列波导光栅的散射损耗,该技术的机理是饱和溶剂分子融入并软化波导侧壁,增加其流动性,从而降低波导侧壁粗糙度.用扫描电镜方法验证了用该技术能获得更光滑的波导侧壁.对直波导和阵列波导光栅样品进行回溶处理,测试后得到直波导的侧壁散射损耗减少2.1 dB/cm,阵列波导光栅中心信道和周边信道的插入损耗分别减少5.5 dB和6.7 dB,串扰减少2.5 dB.
陣列波導光柵(AWG)器件是波分複用(WDM)繫統的一種關鍵器件,其中,聚閤物陣列波導光柵由于其製備工藝、器件集成等方麵的優勢而受到人們的日益關註.側壁散射損耗是聚閤物陣列波導光柵損耗的一箇主要因素,減少陣列波導光柵波導的側壁損耗對製備低損耗陣列波導光柵具有重要意義.一種蒸氣迴溶技術被用來有效地減少硅基聚閤物陣列波導光柵的散射損耗,該技術的機理是飽和溶劑分子融入併軟化波導側壁,增加其流動性,從而降低波導側壁粗糙度.用掃描電鏡方法驗證瞭用該技術能穫得更光滑的波導側壁.對直波導和陣列波導光柵樣品進行迴溶處理,測試後得到直波導的側壁散射損耗減少2.1 dB/cm,陣列波導光柵中心信道和週邊信道的插入損耗分彆減少5.5 dB和6.7 dB,串擾減少2.5 dB.
진렬파도광책(AWG)기건시파분복용(WDM)계통적일충관건기건,기중,취합물진렬파도광책유우기제비공예、기건집성등방면적우세이수도인문적일익관주.측벽산사손모시취합물진렬파도광책손모적일개주요인소,감소진렬파도광책파도적측벽손모대제비저손모진렬파도광책구유중요의의.일충증기회용기술피용래유효지감소규기취합물진렬파도광책적산사손모,해기술적궤리시포화용제분자융입병연화파도측벽,증가기류동성,종이강저파도측벽조조도.용소묘전경방법험증료용해기술능획득경광활적파도측벽.대직파도화진렬파도광책양품진행회용처리,측시후득도직파도적측벽산사손모감소2.1 dB/cm,진렬파도광책중심신도화주변신도적삽입손모분별감소5.5 dB화6.7 dB,천우감소2.5 dB.
