福建师范大学学报（自然科学版）
福建師範大學學報（自然科學版）
복건사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUJIAN TEACHERS UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
2期
43-46,49
,共5页
吕晶%林永钟%林少颜%林丽梅%吴小春%赖发春
呂晶%林永鐘%林少顏%林麗梅%吳小春%賴髮春
려정%림영종%림소안%림려매%오소춘%뢰발춘
银薄膜%缓冲层%光电学性质
銀薄膜%緩遲層%光電學性質
은박막%완충층%광전학성질
研究铜、铝作为银薄膜的缓冲层对银薄膜的光电学性质的影响.利用热蒸发技术在BK-7玻璃基底上沉积Ag(220 nm) /Al(20 nm)和Ag(220 nm)/Cu(20 nm)薄膜,沉积薄膜在温度为400、500 ℃的大气条件下退火处理1 h.样品的表面形貌用原子力显微镜观测,光学和电学性质分别用分光光度计和van der Pauw方法测量.实验结果表明,相对于同等条件下制备的纯银薄膜,附加缓冲层大大提高了退火态薄膜的光电性质,改善了银薄膜的热稳定性.不同的缓冲层对银薄膜光电性质影响程度不同:在同一退火温度下,在可见光谱区域,Ag/Al薄膜的反射率大于Ag/Cu薄膜;Ag/Cu薄膜的电阻率ρ小于Ag/Al薄膜,且在退火温度为500 ℃时Ag/Cu薄膜的ρ最小.
研究銅、鋁作為銀薄膜的緩遲層對銀薄膜的光電學性質的影響.利用熱蒸髮技術在BK-7玻璃基底上沉積Ag(220 nm) /Al(20 nm)和Ag(220 nm)/Cu(20 nm)薄膜,沉積薄膜在溫度為400、500 ℃的大氣條件下退火處理1 h.樣品的錶麵形貌用原子力顯微鏡觀測,光學和電學性質分彆用分光光度計和van der Pauw方法測量.實驗結果錶明,相對于同等條件下製備的純銀薄膜,附加緩遲層大大提高瞭退火態薄膜的光電性質,改善瞭銀薄膜的熱穩定性.不同的緩遲層對銀薄膜光電性質影響程度不同:在同一退火溫度下,在可見光譜區域,Ag/Al薄膜的反射率大于Ag/Cu薄膜;Ag/Cu薄膜的電阻率ρ小于Ag/Al薄膜,且在退火溫度為500 ℃時Ag/Cu薄膜的ρ最小.
연구동、려작위은박막적완충층대은박막적광전학성질적영향.이용열증발기술재BK-7파리기저상침적Ag(220 nm) /Al(20 nm)화Ag(220 nm)/Cu(20 nm)박막,침적박막재온도위400、500 ℃적대기조건하퇴화처리1 h.양품적표면형모용원자력현미경관측,광학화전학성질분별용분광광도계화van der Pauw방법측량.실험결과표명,상대우동등조건하제비적순은박막,부가완충층대대제고료퇴화태박막적광전성질,개선료은박막적열은정성.불동적완충층대은박막광전성질영향정도불동:재동일퇴화온도하,재가견광보구역,Ag/Al박막적반사솔대우Ag/Cu박막;Ag/Cu박막적전조솔ρ소우Ag/Al박막,차재퇴화온도위500 ℃시Ag/Cu박막적ρ최소.
