ZrO2/SiO2双层膜膜间渗透行为初步研究
ZrO2/SiO2쌍층막막간삼투행위초보연구
Primary Study of the Infiltrating between Two-Layer ZrO2/SiO2 Sol-Gel Films
  • 万方数据
    中国激光 중국격광
    CHINESE JOURNAL OF LASERS
    2008年 3期 440-444 ,共5页

    王毕艺%蒋晓东%袁晓东%祖小涛%赵松楠%郭袁俊%徐世珍%吕海兵%田东斌

    왕필예%장효동%원효동%조소도%조송남%곽원준%서세진%려해병%전동빈

    薄膜%溶胶-凝胶薄膜%渗透%椭偏仪%X射线光电子能谱仪 薄膜%溶膠-凝膠薄膜%滲透%橢偏儀%X射線光電子能譜儀
    박막%용효-응효박막%삼투%타편의%X사선광전자능보의
    用溶胶-凝胶技术,采用提拉镀膜法在K9玻璃基片上镀制了ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜,研究了这两种膜层之间的渗透问题.用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,用反射式椭偏仪对X射线光电子能谱仪测得的实验结果进行模拟与验证.结果表明,用X射线光电子能谱仪测得的实验结果建立的椭偏模型,模拟出来的椭偏曲线和用椭偏仪测量出来的椭偏曲线十分吻合;对于ZrO2/SiO2双层薄膜,膜层间的渗透情况不是很严重,在薄膜界面处薄膜的成分比变化非常明显,到达一定深度后薄膜的成分不再随深度的变化而变化;SiO2/ZrO2双层膜膜层界面间的渗透十分严重,渗透层的深度比较大,底层几乎发生了完全渗透.
    용용효-응효기술,채용제랍도막법재K9파리기편상도제료ZrO2/SiO2쌍층막화SiO2/ZrO2쌍층막,연구료저량충막층지간적삼투문제.용X사선광전자능보의(XPS)측량료박막적성분수심도방향적변화,용반사식타편의대X사선광전자능보의측득적실험결과진행모의여험증.결과표명,용X사선광전자능보의측득적실험결과건립적타편모형,모의출래적타편곡선화용타편의측량출래적타편곡선십분문합;대우ZrO2/SiO2쌍층박막,막층간적삼투정황불시흔엄중,재박막계면처박막적성분비변화비상명현,도체일정심도후박막적성분불재수심도적변화이변화;SiO2/ZrO2쌍층막막층계면간적삼투십분엄중,삼투층적심도비교대,저층궤호발생료완전삼투.
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