安徽职业技术学院学报
安徽職業技術學院學報
안휘직업기술학원학보
JOURNAL OF ANHUI VOCATIONAL TECHNICAL COLLEGE
2009年
2期
28-31
,共4页
硅片检测%自动显微镜%机械手,单片机%步进电机
硅片檢測%自動顯微鏡%機械手,單片機%步進電機
규편검측%자동현미경%궤계수,단편궤%보진전궤
半导体生产过程中,用吸笔从花篮取放硅片到显微镜下检测,存在着容易划伤硅片和取放效率低下两大问题.因此用机械手替代人工取放硅片的解决方案十分必要.文章介绍的全自动硅片传送装置用于手动显微镜的传片自动化.该装置利用51单片机为核心,控制步进电机带动机械手取放硅片.该装置用低廉的成本,实现了高效、便捷、实用性强等性能,具备很大的推广意义.
半導體生產過程中,用吸筆從花籃取放硅片到顯微鏡下檢測,存在著容易劃傷硅片和取放效率低下兩大問題.因此用機械手替代人工取放硅片的解決方案十分必要.文章介紹的全自動硅片傳送裝置用于手動顯微鏡的傳片自動化.該裝置利用51單片機為覈心,控製步進電機帶動機械手取放硅片.該裝置用低廉的成本,實現瞭高效、便捷、實用性彊等性能,具備很大的推廣意義.
반도체생산과정중,용흡필종화람취방규편도현미경하검측,존재착용역화상규편화취방효솔저하량대문제.인차용궤계수체대인공취방규편적해결방안십분필요.문장개소적전자동규편전송장치용우수동현미경적전편자동화.해장치이용51단편궤위핵심,공제보진전궤대동궤계수취방규편.해장치용저렴적성본,실현료고효、편첩、실용성강등성능,구비흔대적추엄의의.
