中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2011年
6期
560-564
,共5页
刘栋材%申远%钟俊%齐向东%于海利%竺长安
劉棟材%申遠%鐘俊%齊嚮東%于海利%竺長安
류동재%신원%종준%제향동%우해리%축장안
高精度光栅%机械结构%控制系统%定制负荷
高精度光柵%機械結構%控製繫統%定製負荷
고정도광책%궤계결구%공제계통%정제부하
介绍了大型高精度衍射光栅刻划机的机械结构及其控制系统设计,并针对具有复杂机械结构的控制系统研究了一种新的仿真方法.通过利用Pro/Mechanism模块中的Custom Load(定制负荷)插件实现控制算法,从而在虚拟样机上实现运动控制的仿真.采用这种方法,在光栅刻划机上进行了精定位控制仿真,并基于仿真结果进行控制方案优化,提高了控制系统的开发效率和控制方案的有效性.
介紹瞭大型高精度衍射光柵刻劃機的機械結構及其控製繫統設計,併針對具有複雜機械結構的控製繫統研究瞭一種新的倣真方法.通過利用Pro/Mechanism模塊中的Custom Load(定製負荷)插件實現控製算法,從而在虛擬樣機上實現運動控製的倣真.採用這種方法,在光柵刻劃機上進行瞭精定位控製倣真,併基于倣真結果進行控製方案優化,提高瞭控製繫統的開髮效率和控製方案的有效性.
개소료대형고정도연사광책각화궤적궤계결구급기공제계통설계,병침대구유복잡궤계결구적공제계통연구료일충신적방진방법.통과이용Pro/Mechanism모괴중적Custom Load(정제부하)삽건실현공제산법,종이재허의양궤상실현운동공제적방진.채용저충방법,재광책각화궤상진행료정정위공제방진,병기우방진결과진행공제방안우화,제고료공제계통적개발효솔화공제방안적유효성.
