传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
4期
70-71,78
,共3页
谌贵辉%刘建生%李礼%杨帆
諶貴輝%劉建生%李禮%楊帆
심귀휘%류건생%리례%양범
微机电系统%加速度传感器%仿真
微機電繫統%加速度傳感器%倣真
미궤전계통%가속도전감기%방진
以MEMS加速度传感器为基础的新型数字地震检波器是地震勘探所用仪器的发展方向之一.介绍了一种三维MEMS加速度检波器结构,这有别于传统三分量MEMS传感器通过用3只MEMS加速度传感器按正交直角组装.并通过PSpice软件对其进行了整体仿真,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析的结果吻合.
以MEMS加速度傳感器為基礎的新型數字地震檢波器是地震勘探所用儀器的髮展方嚮之一.介紹瞭一種三維MEMS加速度檢波器結構,這有彆于傳統三分量MEMS傳感器通過用3隻MEMS加速度傳感器按正交直角組裝.併通過PSpice軟件對其進行瞭整體倣真,倣真結果錶明其階躍響應和正絃響應基本和理論分析的結果吻閤.
이MEMS가속도전감기위기출적신형수자지진검파기시지진감탐소용의기적발전방향지일.개소료일충삼유MEMS가속도검파기결구,저유별우전통삼분량MEMS전감기통과용3지MEMS가속도전감기안정교직각조장.병통과PSpice연건대기진행료정체방진,방진결과표명기계약향응화정현향응기본화이론분석적결과문합.
