人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2004年
5期
712-716
,共5页
蒲红斌%陈治明%李留臣%封先锋%张群社%沃立民%黄媛媛
蒲紅斌%陳治明%李留臣%封先鋒%張群社%沃立民%黃媛媛
포홍빈%진치명%리류신%봉선봉%장군사%옥립민%황원원
SiCGe%热壁CVD%感应加热%温度场%有限元
SiCGe%熱壁CVD%感應加熱%溫度場%有限元
SiCGe%열벽CVD%감응가열%온도장%유한원
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究.分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则.模拟结果表明选取16匝线圈和10mm左右的石墨壁厚为优化的设计参数.
採用有限元法,對熱壁CVD法SiCGe閤金生長爐中加熱組件的感應加熱和溫度分佈進行瞭研究.分析瞭感應線圈匝數和石墨襯託的厚度對磁矢勢和溫度分佈的影響,穫取瞭感應線圈數越多感應生成焦耳熱越大且越均勻的結論,得齣瞭隨石墨厚度的增加升溫速率而增加,相反軸嚮溫度均勻性而變差的設計準則.模擬結果錶明選取16匝線圈和10mm左右的石墨壁厚為優化的設計參數.
채용유한원법,대열벽CVD법SiCGe합금생장로중가열조건적감응가열화온도분포진행료연구.분석료감응선권잡수화석묵츤탁적후도대자시세화온도분포적영향,획취료감응선권수월다감응생성초이열월대차월균균적결론,득출료수석묵후도적증가승온속솔이증가,상반축향온도균균성이변차적설계준칙.모의결과표명선취16잡선권화10mm좌우적석묵벽후위우화적설계삼수.
