科技风
科技風
과기풍
TECHNOLOGY WIND
2010年
24期
226
,共1页
PVDF%压电薄膜传感器%制备工艺
PVDF%壓電薄膜傳感器%製備工藝
PVDF%압전박막전감기%제비공예
集成电路技术发展引领着微电子学电路集成进入了系统集成的时代.集成化芯片系统不仅要强大的运算分析能力、信号处理能力,还要有可以感知外界信号的微传感器,并将运算结果作用于外界环境中的微执行器.本文从微传感器的发辰现状着手,分析了压电薄膜传感器的工作原理,并进一步介绍了PVDF压电薄膜传感器的制备工艺.
集成電路技術髮展引領著微電子學電路集成進入瞭繫統集成的時代.集成化芯片繫統不僅要彊大的運算分析能力、信號處理能力,還要有可以感知外界信號的微傳感器,併將運算結果作用于外界環境中的微執行器.本文從微傳感器的髮辰現狀著手,分析瞭壓電薄膜傳感器的工作原理,併進一步介紹瞭PVDF壓電薄膜傳感器的製備工藝.
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