三氯氢硅生产过程的优化
삼록경규생산과정적우화
Optimization of trichlorosilane production process
  • 万方数据
    中国氯碱 중국록감
    CHINA CHLOR-ALKALI
    2011年 3期 32-34 ,共3页

    宋宝东%刘本旭

    송보동%류본욱

    三氯氢硅%四氯化硅%多晶硅%尾气 三氯氫硅%四氯化硅%多晶硅%尾氣
    삼록경규%사록화규%다정규%미기
    阐述了三氯氢硅主要工艺过程,并针对现有工艺存在的主要问题提出了综合解决方案
    천술료삼록경규주요공예과정,병침대현유공예존재적주요문제제출료종합해결방안
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