物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2012年
2期
10-13
,共4页
AlN薄膜%氮气含量%直流磁控溅射%非晶态%吸收
AlN薄膜%氮氣含量%直流磁控濺射%非晶態%吸收
AlN박막%담기함량%직류자공천사%비정태%흡수
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75％时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和A1N(110)衍射峰,在波数为670～700 cm-1处有强烈的吸收峰;增加氮气含量,薄膜又呈现出非晶状态.薄膜的表面粗糙度和颗粒大小都随氮气含量的增加先增大后减小..
研究瞭直流磁控濺射法沉積AlN薄膜過程中氮氣含量對AlN薄膜結構及性能的影響.實驗結果錶明:噹真空腔的氬氣含量較低時,薄膜呈非晶態,在紅外波段的傅裏葉變換光譜中沒有明顯的吸收峰,噹氮氣流量為75％時薄膜中齣現明顯的六方AlN(100)和A1N(110)衍射峰,在波數為670～700 cm-1處有彊烈的吸收峰;增加氮氣含量,薄膜又呈現齣非晶狀態.薄膜的錶麵粗糙度和顆粒大小都隨氮氣含量的增加先增大後減小..
연구료직류자공천사법침적AlN박막과정중담기함량대AlN박막결구급성능적영향.실험결과표명:당진공강적아기함량교저시,박막정비정태,재홍외파단적부리협변환광보중몰유명현적흡수봉,당담기류량위75％시박막중출현명현적륙방AlN(100)화A1N(110)연사봉,재파수위670～700 cm-1처유강렬적흡수봉;증가담기함량,박막우정현출비정상태.박막적표면조조도화과립대소도수담기함량적증가선증대후감소..
