材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
16期
91-93,116
,共4页
王粤%谢致薇%杨元政%周林%钟焕周%吴金明
王粵%謝緻薇%楊元政%週林%鐘煥週%吳金明
왕월%사치미%양원정%주림%종환주%오금명
CoTaZr薄膜%磁控溅射%非晶纳米晶薄膜
CoTaZr薄膜%磁控濺射%非晶納米晶薄膜
CoTaZr박막%자공천사%비정납미정박막
室温下采用直流磁控溅射法在玻璃基片上沉积CoTaZr薄膜.利用EDS、SEM、XRD等方法研究溅射气压、功率对CoTaZr薄膜成分、生长形貌和组织结构的影响.结果表明,溅射功率为96W时,沉积制备的薄膜成分随Ar气压变化不大,薄膜成分基本稳定.在溅射气压为2Pa、功率为96W时,成功制备出具有非晶+纳米晶结构的CoTaZr薄膜.在2Pa时,随着功率的增大,薄膜由1区、T区向3区转变;在96W时,随着气压的增大,薄膜由3区向T区或1区转变.
室溫下採用直流磁控濺射法在玻璃基片上沉積CoTaZr薄膜.利用EDS、SEM、XRD等方法研究濺射氣壓、功率對CoTaZr薄膜成分、生長形貌和組織結構的影響.結果錶明,濺射功率為96W時,沉積製備的薄膜成分隨Ar氣壓變化不大,薄膜成分基本穩定.在濺射氣壓為2Pa、功率為96W時,成功製備齣具有非晶+納米晶結構的CoTaZr薄膜.在2Pa時,隨著功率的增大,薄膜由1區、T區嚮3區轉變;在96W時,隨著氣壓的增大,薄膜由3區嚮T區或1區轉變.
실온하채용직류자공천사법재파리기편상침적CoTaZr박막.이용EDS、SEM、XRD등방법연구천사기압、공솔대CoTaZr박막성분、생장형모화조직결구적영향.결과표명,천사공솔위96W시,침적제비적박막성분수Ar기압변화불대,박막성분기본은정.재천사기압위2Pa、공솔위96W시,성공제비출구유비정+납미정결구적CoTaZr박막.재2Pa시,수착공솔적증대,박막유1구、T구향3구전변;재96W시,수착기압적증대,박막유3구향T구혹1구전변.
