CAJ | 학술논문

随着我国对萤石资源限制，磷矿石中伴生的氟是获取氟资源的一个重要途径，电子级氢氟酸作为氟精细化学品的一种，是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。介绍了电子级氢氟酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状，指出将湿法磷酸的副产物氟硅酸用于生产电子级氢氟酸的原料无水氟化氢，实现资源综合利用，发展循环经济，延长磷化工产业链．对保护萤石战略资源具有重大的战略意义，经济效益和社会效益都十分明显。
수착아국대형석자원한제，린광석중반생적불시획취불자원적일개중요도경，전자급경불산작위불정세화학품적일충，시반도체제작과정중응용최다적전자화학품지일。개소료전자급경불산적응용영역、질량표준、순화기술화국내외연구발전현상，지출장습법린산적부산물불규산용우생산전자급경불산적원료무수불화경，실현자원종합이용，발전순배경제，연장린화공산업련．대보호형석전략자원구유중대적전략의의，경제효익화사회효익도십분명현。