电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
12期
1-4,14
,共5页
单晶炉%固液交界面%设计%模型
單晶爐%固液交界麵%設計%模型
단정로%고액교계면%설계%모형
Single-crystal Furnace%solid-liquid interface%design： model
单晶炉是生产单晶硅的核心设备,其控制系统分析模型的建立有两种方法。一是以单晶直径外形尺寸为目标建立模型;二是以电气控制系统变量为目标建立模型。两种方法均未考虑到单晶生长工艺影响与单晶工艺指标。提出一种以固液交界面热场动态平衡分析为基础的方法,建立单晶炉控制系统变量分析模型,并据此辅以直径形状控制变量的工艺性制约因素考虑,采用工业以太网技术构成全自动网络单晶炉系统设计方案。
單晶爐是生產單晶硅的覈心設備,其控製繫統分析模型的建立有兩種方法。一是以單晶直徑外形呎吋為目標建立模型;二是以電氣控製繫統變量為目標建立模型。兩種方法均未攷慮到單晶生長工藝影響與單晶工藝指標。提齣一種以固液交界麵熱場動態平衡分析為基礎的方法,建立單晶爐控製繫統變量分析模型,併據此輔以直徑形狀控製變量的工藝性製約因素攷慮,採用工業以太網技術構成全自動網絡單晶爐繫統設計方案。
단정로시생산단정규적핵심설비,기공제계통분석모형적건립유량충방법。일시이단정직경외형척촌위목표건립모형;이시이전기공제계통변량위목표건립모형。량충방법균미고필도단정생장공예영향여단정공예지표。제출일충이고액교계면열장동태평형분석위기출적방법,건립단정로공제계통변량분석모형,병거차보이직경형상공제변량적공예성제약인소고필,채용공업이태망기술구성전자동망락단정로계통설계방안。
Single crystal furnace is a core equipment for production single-crystal silicon.there are two methods to establish analysis model of the control system.one is based on diameter dimensions of single crystal,the other is based on variables of electrical control system.Both methods were not considered the effect of the crystal growth process and crystal technology indicators.In this thesis,it is proposed to establish a variable analysis model of single-crystal furnace controlling system based on thermal field dynamic balance of solid-liquid interface,hereby take account of the constraints of diameter controlling variable＇s technics,and use industry enternet technology to construct fully antomatic network single crystal furnace＇s design.
