材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
1期
20-23
,共4页
杨会永%刘荣军%周新贵%曹英斌
楊會永%劉榮軍%週新貴%曹英斌
양회영%류영군%주신귀%조영빈
基片材料%C/SiC复合材料%电子封装
基片材料%C/SiC複閤材料%電子封裝
기편재료%C/SiC복합재료%전자봉장
阐述了目前常用的3大类基片材料,即塑料基、金属基和陶瓷基材料,比较了3类材料的性能,得出了陶瓷基材料是综合性能较好的基片材料的结论,并比较了目前陶瓷基片材料中的Al2O3、AlN、BeO、SiC的性能,认为SiC作为基片材料具有良好的发展前景；针对单相SiC陶瓷固有脆性导致难以大尺寸成型的问题,提出了使用C/SiC复合材料制备基片材料的可能性,并综述了C/SiC复合材料的制备工艺,比较了3种工艺(PIP、CVI、LSI)所制备的材料的性能,认为液相渗硅(LSI)C/SiC复合材料制备大尺寸封装基片材料是未来最具前景的发展方向.
闡述瞭目前常用的3大類基片材料,即塑料基、金屬基和陶瓷基材料,比較瞭3類材料的性能,得齣瞭陶瓷基材料是綜閤性能較好的基片材料的結論,併比較瞭目前陶瓷基片材料中的Al2O3、AlN、BeO、SiC的性能,認為SiC作為基片材料具有良好的髮展前景；針對單相SiC陶瓷固有脆性導緻難以大呎吋成型的問題,提齣瞭使用C/SiC複閤材料製備基片材料的可能性,併綜述瞭C/SiC複閤材料的製備工藝,比較瞭3種工藝(PIP、CVI、LSI)所製備的材料的性能,認為液相滲硅(LSI)C/SiC複閤材料製備大呎吋封裝基片材料是未來最具前景的髮展方嚮.
천술료목전상용적3대류기편재료,즉소료기、금속기화도자기재료,비교료3류재료적성능,득출료도자기재료시종합성능교호적기편재료적결론,병비교료목전도자기편재료중적Al2O3、AlN、BeO、SiC적성능,인위SiC작위기편재료구유량호적발전전경；침대단상SiC도자고유취성도치난이대척촌성형적문제,제출료사용C/SiC복합재료제비기편재료적가능성,병종술료C/SiC복합재료적제비공예,비교료3충공예(PIP、CVI、LSI)소제비적재료적성능,인위액상삼규(LSI)C/SiC복합재료제비대척촌봉장기편재료시미래최구전경적발전방향.
