广州化工
廣州化工
엄주화공
GUANGZHOU CHEMICAL INDUSTRY AND TECHNOLOGY
2011年
10期
38-40
,共3页
肖琦%王瑞%徐磊%曹庆庆
肖琦%王瑞%徐磊%曹慶慶
초기%왕서%서뢰%조경경
TiNi形状记忆合金%薄膜%制备%应用
TiNi形狀記憶閤金%薄膜%製備%應用
TiNi형상기억합금%박막%제비%응용
TiNi形状记忆合金薄膜是近几年来随着微电子电路发展的新兴材料.目前,涂覆TiNi合金薄膜的材料被广泛用作集成电路中微驱动器、微动开关等智能电路元件等.介绍了TiNi合金薄膜的制备方法,总结了制备过程中影响薄膜性质的因素,结合TiNi合金薄膜的应用现状,提出了未来TiNi合金薄膜研究发展方向.
TiNi形狀記憶閤金薄膜是近幾年來隨著微電子電路髮展的新興材料.目前,塗覆TiNi閤金薄膜的材料被廣汎用作集成電路中微驅動器、微動開關等智能電路元件等.介紹瞭TiNi閤金薄膜的製備方法,總結瞭製備過程中影響薄膜性質的因素,結閤TiNi閤金薄膜的應用現狀,提齣瞭未來TiNi閤金薄膜研究髮展方嚮.
TiNi형상기억합금박막시근궤년래수착미전자전로발전적신흥재료.목전,도복TiNi합금박막적재료피엄범용작집성전로중미구동기、미동개관등지능전로원건등.개소료TiNi합금박막적제비방법,총결료제비과정중영향박막성질적인소,결합TiNi합금박막적응용현상,제출료미래TiNi합금박막연구발전방향.
