科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2010年
22期
316-317,319
,共3页
田明明%毛龙满%张志杰%陈小兰%杨励君
田明明%毛龍滿%張誌傑%陳小蘭%楊勵君
전명명%모룡만%장지걸%진소란%양려군
PECVD%非晶硅薄膜太阳能电池%环境影响分析
PECVD%非晶硅薄膜太暘能電池%環境影響分析
PECVD%비정규박막태양능전지%배경영향분석
本文通过对PECVD工艺生产非晶硅薄膜太阳能电池的介绍,分析了非晶硅薄膜太阳能电池生产过程中的产污节点及其对环境的影响,提出了减缓环境影响的措施.非晶硅薄膜太阳能电池生产过程产生的污染主要为PECVD工艺尾气,通过采用国际先进的治理措施,可有效地降低对周围环境的影响.
本文通過對PECVD工藝生產非晶硅薄膜太暘能電池的介紹,分析瞭非晶硅薄膜太暘能電池生產過程中的產汙節點及其對環境的影響,提齣瞭減緩環境影響的措施.非晶硅薄膜太暘能電池生產過程產生的汙染主要為PECVD工藝尾氣,通過採用國際先進的治理措施,可有效地降低對週圍環境的影響.
본문통과대PECVD공예생산비정규박막태양능전지적개소,분석료비정규박막태양능전지생산과정중적산오절점급기대배경적영향,제출료감완배경영향적조시.비정규박막태양능전지생산과정산생적오염주요위PECVD공예미기,통과채용국제선진적치리조시,가유효지강저대주위배경적영향.
