广东科技
廣東科技
엄동과기
GUANGDONG SCIENCE & TECHNOLOGY
2010年
10期
93-94
,共2页
低温等离子体%电子回旋共振
低溫等離子體%電子迴鏇共振
저온등리자체%전자회선공진
介绍了新型电子回旋共振(ECR)低温等离子体技术以及其工业主要用途,电子回旋共振等离子体通过电子回旋共振吸收微波能量来产生高密度等离子体.该新型低温等离子体由于无内电极放电无污染、等离子体密度高、能量转换率高和电离度高等优点必将在高质量薄膜沉积、反应离子干法刻蚀及材料表面改性等方面得到广泛的应用.
介紹瞭新型電子迴鏇共振(ECR)低溫等離子體技術以及其工業主要用途,電子迴鏇共振等離子體通過電子迴鏇共振吸收微波能量來產生高密度等離子體.該新型低溫等離子體由于無內電極放電無汙染、等離子體密度高、能量轉換率高和電離度高等優點必將在高質量薄膜沉積、反應離子榦法刻蝕及材料錶麵改性等方麵得到廣汎的應用.
개소료신형전자회선공진(ECR)저온등리자체기술이급기공업주요용도,전자회선공진등리자체통과전자회선공진흡수미파능량래산생고밀도등리자체.해신형저온등리자체유우무내전겁방전무오염、등리자체밀도고、능량전환솔고화전리도고등우점필장재고질량박막침적、반응리자간법각식급재료표면개성등방면득도엄범적응용.
