传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
11期
5-7
,共3页
李珂%于世洁%尤政%赵嘉昊
李珂%于世潔%尤政%趙嘉昊
리가%우세길%우정%조가호
微机电系统%气体传感器%技术
微機電繫統%氣體傳感器%技術
미궤전계통%기체전감기%기술
综述了目前国内外丰要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法.对各种传感器的特点进行了比较.
綜述瞭目前國內外豐要MEMS氣體傳感器的原理,包括諧振式微懸臂樑型、聲錶麵波型、阻抗變化型、聲光法、氣體光譜、催化燃燒式和高場非對稱波形離子遷移譜(FAIMS)檢測法.對各種傳感器的特點進行瞭比較.
종술료목전국내외봉요MEMS기체전감기적원리,포괄해진식미현비량형、성표면파형、조항변화형、성광법、기체광보、최화연소식화고장비대칭파형리자천이보(FAIMS)검측법.대각충전감기적특점진행료비교.
