材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
12期
110-112
,共3页
陆裕东%何小琦%恩云飞%王歆%庄志强
陸裕東%何小琦%恩雲飛%王歆%莊誌彊
륙유동%하소기%은운비%왕흠%장지강
锡须%镀层%互连%可靠性
錫鬚%鍍層%互連%可靠性
석수%도층%호련%가고성
在25℃H50%的常温常湿条件下,对纯Sn镀层引脚的锡须生长进行了评估.无铅化纯锡镀层表面的锡须呈现针状、圆柱状、小丘状、束状等多种不同显微形貌.外界环境与锡须的生长形貌无关,锡须生长部位特定的材料内部应力条件和晶体缺陷环境是决定晶须形貌的主要因素.经过500 h的常态老化,镀层上短晶须占多数,只发现了极少量长度超过50μm的锡须,而正是这少量的长晶须是造成铜互连引线间锡须桥连短路的主要因素.抑制少量超长的针状晶须的生长是防止晶须生长风险的关键.
在25℃H50%的常溫常濕條件下,對純Sn鍍層引腳的錫鬚生長進行瞭評估.無鉛化純錫鍍層錶麵的錫鬚呈現針狀、圓柱狀、小丘狀、束狀等多種不同顯微形貌.外界環境與錫鬚的生長形貌無關,錫鬚生長部位特定的材料內部應力條件和晶體缺陷環境是決定晶鬚形貌的主要因素.經過500 h的常態老化,鍍層上短晶鬚佔多數,隻髮現瞭極少量長度超過50μm的錫鬚,而正是這少量的長晶鬚是造成銅互連引線間錫鬚橋連短路的主要因素.抑製少量超長的針狀晶鬚的生長是防止晶鬚生長風險的關鍵.
재25℃H50%적상온상습조건하,대순Sn도층인각적석수생장진행료평고.무연화순석도층표면적석수정현침상、원주상、소구상、속상등다충불동현미형모.외계배경여석수적생장형모무관,석수생장부위특정적재료내부응력조건화정체결함배경시결정정수형모적주요인소.경과500 h적상태노화,도층상단정수점다수,지발현료겁소량장도초과50μm적석수,이정시저소량적장정수시조성동호련인선간석수교련단로적주요인소.억제소량초장적침상정수적생장시방지정수생장풍험적관건.
